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Journal of the Korean Ceramic Society 2001;38(4): 365. |
| PECVD법에 의한 3C-SiC막 증착(II): Nanoindentation 방법을 이용한 SiC 막의 기계적성질 |
| 김광호, 윤석영, 서지윤, 김창열1, 김창열1 |
부산대학교 무기재료공학과
1일본 오오사카대학교 |
| Deposition of 3C-SiC Films by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition (II): Mechanical Properties of SiC Films by Nanoindentation Technique |
| Koichi Niihara 1 |
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| Key words:
3C-SiC films, PECVD, Nanoindentation, Hardness |
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